所謂的「台灣第一」，用在由顧逸霞主持的「45奈米微影製程檢測技術」的計劃上相當合適。雖然顧逸霞給人的第一個印象是嬌小和溫柔，然而在她體內，卻藏著一個永不服輸的個性，使她帶領的團隊，成功開發了領先全球製程檢測技術三年的「45奈米微影製程檢測技術」，讓台灣在國際半導體科技的舞台上大放異彩。
這一項技術的研發，為2010年的半導體微影製程，提供了有效的量測技術，成功把先進半導體微影製程的量產時程提前了三年。她說，半導體積體電路的製程，是把微小的電路，利用光學微影技術，將積體電路一層一層地製作在晶圓上。在製作過程中，多達數十層的積體電路必須精準地重疊。由於積體電路的體積越做越小，為了要檢測層與層之間是否精準重疊，以及線寬尺寸的誤差是否在可容許的範圍內，先進的量測技術便顯得格外重要。
正因如此，一旦這項技術成功量產之後，半導體廠商就能夠直接運用這套技術，檢測45奈米的微影製程。這也就解釋了為什麼顧逸霞的計劃會受到產業大佬如台積電、AMD、IBM Microelectronics、Philips等廠商這麼熱烈的迴響，並且和他們建立了密切的合作關係。另一方面，近幾年在美國矽谷舉辦的年度「國際光學工程學會微影大會」(SPIE)，對顧逸霞所領導的這項技術開發計劃，給予高度的肯定。她說，第一年和團隊一起參加大會時，只能安靜地在一旁做筆記；不過，顧逸霞第二年即開始在會議上，發表自己的研究成果，令人興奮的是，許多與會廠商都給她熱烈的迴響，讓她受寵若驚。也就是在那個時候，顧逸霞的研究計劃逐漸獲得關注，多家國際廠商紛紛向她提出合作計劃。
回首計劃的草創時期，顧逸霞在大學的實驗室內，利用簡單的製程設備來驗證這項技術的可行性。直到驗證有了初步滿意的成果，才開始和台積電等廠商接洽，尋求外界的先進製程資源及技術合作。她說，目前多方的合作模式，是由工研院針對各家半導體廠的先進製程，提供所謂的「最佳化疊對量測」設計和創新的數值演算法；而合作的國際半導體廠商則為工研院的研究團從提供先進製程、光罩製作、量測機台等資源。
自國立清華大學原子科學研究所博士班畢業後，顧逸霞直接進入國家標準實驗室，從事基礎電量的標準測量研究工作長達十一年。雖然後來在工研院從事的工作，與之前的工作有著天壤之別，但是轉換跑道對顧逸霞而言，並沒有多大的差別。她說，每一個不同的計劃和研究，都是一個新的學習過程。對於學習，她自有一套科學辦法。
顧逸霞在學習游泳時，會先通過書籍和光碟，研習游泳的理論。待這一切理論的學習都已經足夠，她會到游泳池去驗證。從完全不會游泳到自學成功，現在的顧逸霞，已經是工研院院長盃游泳比賽的四屆冠軍。也正因為這樣的學習方法，讓顧逸霞每次在接手新的計劃時，能夠迅速地進入狀況並全心投入，務必將手頭上的工作做到最好為止。 顧逸霞的工作態度，是嚴謹和認真的。她認為「凡有播種，必有收獲」，相信正是這種踏實勤奮的工作態度，造就了她今日在研究道路上的輝煌成果。吳曉平的專題報導。