5-2 45奈米微影製程檢測技術 獨步全球的Made in Taiwan科技

 首頁 院友點滴 工研院小故事 Vol. 5 5-2 45奈米微影製程檢測技術 獨步全球的Made in Taiwan科技

所謂的「台灣第一」,用在由顧逸霞主持的「45奈米微影製程檢測技術」的計劃上相當合適。雖然顧逸霞給人的第一個印象是嬌小和溫柔,然而在她體內,卻藏著一個永不服輸的個性,使她帶領的團隊,成功開發了領先全球製程檢測技術三年的「45奈米微影製程檢測技術」,讓台灣在國際半導體科技的舞台上大放異彩。

這一項技術的研發,為2010年的半導體微影製程,提供了有效的量測技術,成功把先進半導體微影製程的量產時程提前了三年。她說,半導體積體電路的製程,是把微小的電路,利用光學微影技術,將積體電路一層一層地製作在晶圓上。在製作過程中,多達數十層的積體電路必須精準地重疊。由於積體電路的體積越做越小,為了要檢測層與層之間是否精準重疊,以及線寬尺寸的誤差是否在可容許的範圍內,先進的量測技術便顯得格外重要。

正因如此,一旦這項技術成功量產之後,半導體廠商就能夠直接運用這套技術,檢測45奈米的微影製程。這也就解釋了為什麼顧逸霞的計劃會受到產業大佬如台積電、AMD、IBM Microelectronics、Philips等廠商這麼熱烈的迴響,並且和他們建立了密切的合作關係。另一方面,近幾年在美國矽谷舉辦的年度「國際光學工程學會微影大會」(SPIE),對顧逸霞所領導的這項技術開發計劃,給予高度的肯定。她說,第一年和團隊一起參加大會時,只能安靜地在一旁做筆記;不過,顧逸霞第二年即開始在會議上,發表自己的研究成果,令人興奮的是,許多與會廠商都給她熱烈的迴響,讓她受寵若驚。也就是在那個時候,顧逸霞的研究計劃逐漸獲得關注,多家國際廠商紛紛向她提出合作計劃。

回首計劃的草創時期,顧逸霞在大學的實驗室內,利用簡單的製程設備來驗證這項技術的可行性。直到驗證有了初步滿意的成果,才開始和台積電等廠商接洽,尋求外界的先進製程資源及技術合作。她說,目前多方的合作模式,是由工研院針對各家半導體廠的先進製程,提供所謂的「最佳化疊對量測」設計和創新的數值演算法;而合作的國際半導體廠商則為工研院的研究團從提供先進製程、光罩製作、量測機台等資源。

自國立清華大學原子科學研究所博士班畢業後,顧逸霞直接進入國家標準實驗室,從事基礎電量的標準測量研究工作長達十一年。雖然後來在工研院從事的工作,與之前的工作有著天壤之別,但是轉換跑道對顧逸霞而言,並沒有多大的差別。她說,每一個不同的計劃和研究,都是一個新的學習過程。對於學習,她自有一套科學辦法。

顧逸霞在學習游泳時,會先通過書籍和光碟,研習游泳的理論。待這一切理論的學習都已經足夠,她會到游泳池去驗證。從完全不會游泳到自學成功,現在的顧逸霞,已經是工研院院長盃游泳比賽的四屆冠軍。也正因為這樣的學習方法,讓顧逸霞每次在接手新的計劃時,能夠迅速地進入狀況並全心投入,務必將手頭上的工作做到最好為止。 顧逸霞的工作態度,是嚴謹和認真的。她認為「凡有播種,必有收獲」,相信正是這種踏實勤奮的工作態度,造就了她今日在研究道路上的輝煌成果。吳曉平的專題報導。