謝榮哲用精密加工譜出再生晶圓舞曲

 首頁 院友點滴 工研院小故事 Vol. 3 謝榮哲用精密加工譜出再生晶圓舞曲

台灣晶圓代工約佔全球晶片製造規模的5%,但光是這一瓢飲,就足以讓台灣半導體傳奇聚焦全球目光。謝榮哲學機械,退伍後赴笈東瀛學精密加工,原本準備留在機 械所工作到退休,卻因為掌握晶圓材料次世代製程技術,領先全球用延性輪磨重生了廢棄晶圓的生命,而一頭挺進兩兆光環蔭庇下的再生晶圓產業。

謝 榮哲意外跨進半導體,是不意外中的意外,有些天時,地利,人和,他的人生,也順勢從學研界轉向金敏的創業之路。今年金敏有9.5億營業額,目前已躍居國內 最大再生晶圓廠,金敏這個月19號即將併回母廠中國砂輪,結合老字號中國砂輪的基礎技術,相信二家公司合併後將很快可發揮整合綜效。事實上,客戶使用再生 晶圓來監控製程,成本可大幅節省,所以景氣不論好壞,市場誘因都高,謝榮哲說(track)。

謝榮哲出身日本名校慶應大學,靠著傑出的前瞻技術開發整合能力,39歲當上機械所精細零組件組長,破了傳統大所記錄。謝榮哲的父親是慶應博士,父子倆同屬校 友,指導教授也鼓勵他繼續攻頂博士,謝榮哲也以為自己鍾情學術研究,卻因為手上的計畫,挑起前所未有的樂趣,在台灣電子業傳奇中,發現延性輪磨具有下世代 脆性材料製程明星相,與全球電子資訊產品輕薄短小的主流趨勢不謀而合,加上86年時,當時創業已經有45年的中國砂輪,極欲運用其優勢轉型跨足半導體業, 因此看上機械所的關鍵技術,加上當時所長蔡新源又鼓勵員工集體創業,於是和中國砂輪一拍即合,成立金敏來承接量產,用來服務廣大的半導體客戶。

謝榮哲從此做出衝刺新事業的重大決定,至於拿博士這檔事,只好再留給其他人。曾經有一名慶應大學教授說,謝榮哲的表現已經可以叫一聲謝博士。然而謝榮哲念玆 在茲的,是日本專家說過的另外一句話:精密加工的”魂”很重要!什麼是魂?為什麼要把魂灌進精密加工?答案其實就在老師傅的耐心和智慧裡。謝榮哲沉潛機械 所14年,終於在金敏找到了答案(track)。

從8吋再生晶圓切入,中國砂輪與機械所展開合 作,兩年後的88年6月,服海軍陸戰隊預官役的謝榮哲,帶著一組團隊,包括台灣第一個擁有非球面鏡片奈米加工能力的國寶級師傅,和力排眾議的膽識,金敏第 一條月產3萬片的生產線,也是全球第一座延性輪磨8吋再生晶圓廠出爐,正式在竹北成立了。

當時全世界沒有人用一片一片的輪磨,重生測試晶圓的生命,謝榮哲力排眾議堅持用輪磨(grinding),是因為品質和環保效益高,像日本再生晶圓用研磨 (Lapping)產生的變質層比較深,相較之下,輪磨不僅變質層少,可減低交叉汙染,還可直接拋光,降低晶圓材料一半的成本,回收次數比傳統製程多。但 謝榮哲永遠記得,走遍美國和日本,卻沒有人用輪磨作再生晶圓的製程,一路走來有種孤單的感覺,但因為具有利基,很快獲得客戶的認同。半年後,金敏月產量加 倍,不到兩年,產能已經增加到12萬片,2001年起跟隨台積腳步,蓋出國內第一座12吋再生晶圓廠,現在為了服務客戶第二座也正加緊趕工。除了跟進 90,65奈米製程之外,金敏繼續挑戰下世代製程的需求,將以最環保的製程,為客戶創造出最大的價值。

走過篳路藍縷期穿汗衫輪夜班,和無數次開會檢討到天亮的日子,金敏總經理謝榮哲再過幾天就會頂著中國砂輪晶圓事業部總經理的新頭銜,邁入中砂領導高層,看著金敏大樓一棟一棟接著蓋,當初這名機械工程師已經在半導體擁有屬於自己的舞台 (track)。

30幾年前,電子所工程師用矽晶圓點砂成金,20幾年後,機械所謝榮哲領先全球,在精密加工舞台上,為再生晶圓,以及下世代光電產品再譜”晶”彩圓舞曲。